Geht es um die Herstellung der fortschrittlichsten Halbleiter, führt aktuell an den EUV-Lithographieanlagen von ASML kein Weg vorbei. Doch nach über einem Jahrzehnt Entwicklung startet Canon heute mit dem Verkauf seiner Nanoimprint-Lithorgraphieanlagen und attackiert damit direkt den Marktführer.
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